液氧源
氧气源系统是指一套提供符合臭氧产生要求的原料氧气的设备，将一定纯度的氧气送入臭氧发生器产生臭氧，一般有现场制氧和液态氧两种方式。
1、现场制氧：现场制氧一般采用变压吸附制氧设备，是以空气为原料，以沸石分子筛为吸附剂，利用变压吸附原理，即加压吸附，常压（PSA）解吸的方式制取氧气的设备。 常压解吸制氧机系统工艺流程示意图一般如下：
2．液态氧：液氧系统包括液氧储罐、汽化器、减压装置等，是将液态氧直接从生产厂家购入，存储在液氧储罐内，使用时将液氧气处理后送入臭氧发生器内即可。
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